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具有防护柱的半导体存储装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:31499501
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本发明提供一种具有防护柱的半导体存储装置及其制造方法。半导体存储装置包括衬底、多个位线结构、多个触点、多个防护柱以及多个电容器。所述衬底具有存储区以及围绕所述存储区的周边区。所述多个位线结构彼此平行地设置于所述存储区中的所述衬底上。所述多个...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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