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一种单晶ＭｇＯ蒸镀材料，其作为靶材用于使用以电子束蒸镀法为首的真空蒸镀法在基板上形成ＭｇＯ膜，其中，该单晶ＭｇＯ蒸镀材料防止产生喷溅，提高优异的膜特性例如用作ＰＤＰ用保护膜时的放电特性等而未减小蒸镀时的成膜速度。一种氧化镁（２００）面的摇摆...
该专利属于达泰豪化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过达泰豪化学工业株式会社授权不得商用。

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