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一种离子束测量装置，包括：　　　　光圈，用来接收离子束；　　　　负偏压电极，配置在所述光圈旁；　　　　正偏压电极，配置在所述负偏压电极旁；　　　　选择偏压电极，配置在所述正偏压电极旁；以及　　　　收集器，　　　　其中，所述选择偏压电极可选择...
该专利属于瓦里安半导体设备公司所有，仅供学习研究参考，未经过瓦里安半导体设备公司授权不得商用。

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