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本发明提供了一种具有定位槽的硅光芯片及其加工方法，涉及半导体生产技术领域，通过在侧壁加工出定位槽与光纤端面耦合，能够提高对准精度，提高硅光芯片晶圆利用率，降低成本；该硅光芯片的侧壁设有至少一个用于实现光纤与波导端面耦合且对所述光纤具有定位作...
该专利属于苏州海光芯创光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州海光芯创光电科技股份有限公司授权不得商用。

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