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本发明提供一种投影光刻机、照明系统、控制系统及方法。照明系统包括：光源、微镜阵列、照明光路以及微镜阵列数字控制器；所述光源适于发出曝光光束，所述微镜阵列数字控制器适于发出微镜阵列控制信号，以控制所述微镜阵列不同区域的微镜像素开闭状态；所述微...
该专利属于上海度宁科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海度宁科技有限公司授权不得商用。

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