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光电倍增器制造技术
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文档序号:3149416
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本发明涉及一种光电倍增器,其具有能实现高倍增效率的微细结构。该光电倍增器具备将内部维持在真空的外围器,在规定该外围器的内部空间的内壁面的一部分即器件搭载面(40a)上,配置有反射型光电面即光电面(22)、电子倍增部(31)、阳极(32)、电...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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