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一种等离子体反应器（２００），包括室（２０２）、底部电极（２０４）、顶部电极（２０６）、第一约束环组（２０８）、第二约束环组（２１０）、以及接地扩展部（２１２）。该顶部和底部电极、该第一和第二约束环组、以及该接地扩展部均封入该室内。该第一约...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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