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用于等离子体处理设备的等离子体增强器,包括用于使辉光放电等离子体增强和/或点火以进行处理,尤其用来对工件(8)进行涂覆的装置(1,4),具有至少一个由导电材料制成的空心体(2,5)。该空心体如此构造,使得在该空心体上施加电信号时,至少在特定...该专利属于奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)所有,仅供学习研究参考,未经过奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)授权不得商用。
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用于等离子体处理设备的等离子体增强器,包括用于使辉光放电等离子体增强和/或点火以进行处理,尤其用来对工件(8)进行涂覆的装置(1,4),具有至少一个由导电材料制成的空心体(2,5)。该空心体如此构造,使得在该空心体上施加电信号时,至少在特定...