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高性能微制造静电四极透镜制造技术
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文档序号:3149089
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本发明提供了在微型四极静电透镜的几何形状中排列圆柱电极组的方法,所述微型四极静电透镜可以用作四极质谱仪中的质量过滤器。电极成对安装于由绝缘基底上的导电部分形成的微制造支撑上。导电部分的完全分割提供了在共面圆柱电极之间的低电容耦合,并且允许并...
该专利属于麦克诺塞伊可系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过麦克诺塞伊可系统有限公司授权不得商用。
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