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本发明描述了一种用于处理来自多晶硅蚀刻过程的废气的方法，该方法采用等离子消除装置用以处理气体。该装置包括具有用于接收气体的气体入口以及气体出口的不锈钢气室。由于气体可包含卤代化合物和水蒸气，故气室被加热至抑制在气室内的表面上吸收水的温度，由...
该专利属于爱德华兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德华兹有限公司授权不得商用。

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