下载一种等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法的技术资料

文档序号:31490205

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本发明公开了一种等离子刻蚀机用陶瓷介质窗加工方法,旨在解决陶瓷介质窗的加工效率低,生产成本高,烧结过程易变形的不足。该发明包括以下步骤:a、将陶瓷粉料装入冷等精压成型模具中;b、将装满陶瓷粉料的冷等精压成型模具放入冷等精压容器中,采用冷等静...
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