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本发明公开了一种硅基异质集成的InAlAs基HEMT结构，属于半导体制造领域。该结构包括Si衬底和在Si衬底上从下至上依次生长的缓冲层、In
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该专利属于中国电子科技集团公司第五十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第五十五研究所授权不得商用。

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