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本发明实施例公开了一种晶圆的图形刻蚀方法、薄膜谐振器组件及制备方法。该晶圆的图形刻蚀方法包括：提供晶圆，晶圆包括图形区域和包围图形区域的去边区域；在去边区域形成刻蚀阻挡层，其中，晶圆和刻蚀阻挡层的刻蚀选择比大于或等于预设刻蚀选择比；在晶圆的...
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