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本发明涉及一种用于工件、特别是空心体形的工件的等离子体处理的方法，其中在一反应器室内将一处理区域至少部分地抽成真空，将一过程气体导入处理区域内、特别是工件的空腔中，并且借助于射进的电磁能量在导入处理区域的过程气体中触发等离子体；其特征在于，...
该专利属于肖特股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过肖特股份公司授权不得商用。

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