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本发明描述了一种用于清洗沉积室的方法，所述方法与大面积沉积是相容的。所述方法包括通过至少两个注射点且在用于反应性物质的等同路径上以均匀的方式将被活化的气体从远程等离子体源输送至所述室中的区域。一种相应的用于分布被活化的反应性气体的气体注射系...
该专利属于OC欧瑞康巴尔斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过OC欧瑞康巴尔斯公司授权不得商用。

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