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用于监控等离子体的方法、用于实施该方法的装置、该方法用于将薄膜淀积到PET中空体上的用途制造方法及图纸
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下载用于监控等离子体的方法、用于实施该方法的装置、该方法用于将薄膜淀积到PET中空体上的用途的技术资料
文档序号:3148739
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等离子体成分的监控方法,所述等离子体产生自确定的前体,用于将薄膜淀积到聚合物材料上,所述方法包括测量由该等离子体发射的光强度,该方法的特征在于其包括: 选择第一波长范围的步骤,所述第一波长范围称为参考范围,其选自该等离子体的发射光谱区...
该专利属于赛德尔参与公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛德尔参与公司授权不得商用。
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