温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种方法，用于基底覆层，具有被构成为磁控管的阴极，在该阴极旁边两个电极被交替地施加以正电势（阳极电势）或负电势，本发明还涉及一种用于基底覆层的系统，该系统具有真空室、磁控管阴极、两个电极和电压源，本发明的任务在于，通过提高层厚均匀...
该专利属于冯.阿德纳设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过冯.阿德纳设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。