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用于ｉＰＶＤ的电容性等离子体源（２２）浸没在强的局部磁场（３１）中，并可以用于装入即可式替换ｉＰＶＤ的电感耦合等离子体（ＩＣＰ）源。该源包括环形电极（２３），环形电极（２３）具有位于其后面的磁体组（３０），磁体组（３０）包括与电极表面大致平...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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