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本发明公开了一种电子束－离子束微纳米加工组合系统，电子束、离子束能同时工作，ＳＥＭ中的电子可以和带正电的离子相结合，有效减小了样品表面因电荷积累引起的对观察与分析的影响。本发明电子束－离子束微纳米加工组合系统包括有法兰、扫描电子显微镜、聚焦...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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