电子束-离子束微纳米加工组合系统技术方案

本发明专利技术公开了一种电子束－离子束微纳米加工组合系统，电子束、离子束能同时工作，ＳＥＭ中的电子可以和带正电的离子相结合，有效减小了样品表面因电荷积累引起的对观察与分析的影响。本发明专利技术电子束－离子束微纳米加工组合系统包括有法兰、扫描电子显微镜、聚焦离子束装置、计算机，计算机为扫描电子显微镜的一部分，法兰安装在扫描电子显微镜的反应室的斜面上，聚焦离子束装置的离子枪安装在法兰的通孔中。本设计方案由于采用了电子束和离子束对称装置，具有结构稳定、简洁、美观，对中方便、精确，图像清晰、样品台稳定性高等优点，有利于提高电子束的成像质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电子束-离子束微纳米加工组合系统，是将离子枪通过法兰安装 在电子束反应室上，实现电子束、离子束分别垂直于样品台。
技术介绍
随着生产力水平的不断提高，能源问题成为人类面临的主要挑战，产品的微型化 是解决能源危机的手段之一，因此纳米科技成为目前国际上的研究热点。纳米科技研 究纳米领域的表面材料科学及其应用，不仅包含以观测、分析和研究为主线的基础学 科，还包括以纳米工程与加工学为主线的技术科学，所以，纳米科技是一个前沿基础 学科和高技术融为一体的完整体系。它包括纳米制造技术、纳米测量学、纳米体系物 理学、纳米化学、纳米生物学、纳米材料学、纳米电子学和纳米摩擦学等分支学科， 其中，纳米制造技术和纳米测量学是当前纳米科学研究的基础，在纳米科技中起着举 足轻重的作用。纳米制造技术作为纳米技术的中心之一，是糅合其它各种学科的基本 艺术，是当前纳米科学研究的基础一它不仅为纳米科学各个领域的研究和拓展提 供强有力的手段，而且是未来纳米产业的支柱，是衡量纳米科技发展的重要标志。而 纳米测量学涉及纳米尺度的评价以及成份、微结构和物性的纳米级测量，对于涉及纳 米材料和纳米器件的纳米制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子束－离子束微纳米加工组合系统，包括有扫描电子显微镜（１）、聚焦离子束装置（２），其特征在于：还包括有法兰（４），法兰（４）安装在扫描电子显微镜（１）的反应室（１ａ）的斜面（１ｂ）上，聚焦离子束装置（２）的离子枪安装在法兰（４）的通孔（４０１）中；扫描电子显微镜（１）的反应室（１ａ）上切出一斜面（１ｂ），斜面（１ｂ）上开有Ａ通孔（１ｃ），Ａ通孔（１ｃ）用于聚焦离子束装置（２）的离子枪（２１）通过，且保持离子枪（２１）出射的离子束（２２）垂直于样品台（１３）；法兰（４）为一体加工成型件，法兰（４）沿中心轴线开有通孔（４０１），法兰（４）的一端为连接头（４０３），法兰（４）的另一端为圆环（４...

【技术特征摘要】
1、一种电子束-离子束微纳米加工组合系统，包括有扫描电子显微镜(1)、聚焦离子束装置(2)，其特征在于还包括有法兰(4)，法兰(4)安装在扫描电子显微镜(1)的反应室(1a)的斜面(1b)上，聚焦离子束装置(2)的离子枪安装在法兰(4)的通孔(401)中；扫描电子显微镜(1)的反应室(1a)上切出一斜面(1b)，斜面(1b)上开有A通孔(1c)，A通孔(1c)用于聚焦离子束装置(2)的离子枪(21)通过，且保持离子枪(21)出射的离子束(22)垂直于样品台(13)；法兰(4)为一体加工成型件，法兰(4)沿中心轴线开有通孔(401)，法兰(4)的一端为连接头(403)，法兰(4)的另一端为圆环(405)；连接头(403)的安装面(402)上设有凹槽(408)、A螺纹孔(409)，凹槽(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：王荣明，崔益民，孙倩，李文萍，姚骏恩，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：11[]