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本发明涉及一种提高烧结炉传送带表面氧化层可靠性的方法，包括：第一氧化处理段，将高温烧结炉的温度设置在990℃～1010℃，通入氮气，将传送带进行循环空运转，并在每次运转时确保在炉内保持停留时间；传送带循环空运转时间为1～2天；第二氧化处理段...
该专利属于上海富乐华半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海富乐华半导体科技有限公司授权不得商用。

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