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本发明公开一种末端执行器的位移测量方法及装置。根据一个方面的通过半导体设备的装载锁定门的末端执行器的位移测量方法可以包括以下步骤：在所述末端执行器通过所述装载锁定门时，测量所述末端执行器的垂直方向的第一位移和水平方向的第二位移；基于测量的所...
该专利属于SKC索密思株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过SKC索密思株式会社授权不得商用。

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