下载III族氮化物晶体、III族氮化物基板及III族氮化物晶体的制造方法的技术资料

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本发明提供III族氮化物晶体、III族氮化物基板及III族氮化物晶体的制造方法。提供具有优异的导电性和低吸光系数的III族氮化物晶体。III族氮化物晶体掺杂有N型掺杂剂和锗元素,N型掺杂剂的浓度为1
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