下载检查方法以及检查装置的技术资料

文档序号:31478864

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本发明提供一种检查方法以及检查装置。本检查装置具备:图像传感器(101~116),拍摄片材(S);照明装置(2),向片材(S)照射光;和图像处理装置(7),根据图像传感器(101~116)的输出,生成对象物(E)的图像。图像处理装置(7)基...
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