检查方法以及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检查方法以及检查装置。本检查装置具备：图像传感器(101～116)，拍摄片材(S)；照明装置(2)，向片材(S)照射光；和图像处理装置(7)，根据图像传感器(101～116)的输出，生成对象物(E)的图像。图像处理装置(7)基于图像传感器(101～116)的输出，生成共同地包含片材(S)的规定范围的图像的取入图像(Pa～Pd)。图像处理装置(7)按生成的每个取入图像(Pa～Pd)，提取片材(S)中的对象物(E)的图像。图像处理装置(7)针对提取的对象物E的图像彼此，基于该图像中显现的对象物(E)的特征量来建立关联。图像处理装置(7)将建立关联的对象物(E)的图像彼此合成。物(E)的图像彼此合成。物(E)的图像彼此合成。

【技术实现步骤摘要】
检查方法以及检查装置


[0001]本专利技术涉及使用了多个图像传感器的被检查体的检查装置以及检查方法，提高被检查体中的对象物的检测再现性以及检测概率。

技术介绍

[0002]在半导体、电子设备、二次电池等的设备领域，已知使用光电变换型的图像传感器，对被检查体中的对象物(异物、缺陷等)进行检测的缺陷检测装置。
[0003]近年来，在这些领域中，由于产品的高精度化、小型化导致被检查体中的异物、缺陷的尺寸变小。此外，要求生产的效率化、品质改善，伴随于此，需要制造工序的高速化、成品率提高等。为了制造工序的高速化、成品率提高，需要图像传感器的高分辨率化、高响应性。
[0004]但是，在高分辨率并且高响应性的图像传感器的制作中，需要大量的开发费、开发时间。因此，在专利文献1中，通过将多个图像传感器并排并同时处理，实现高速的检测器。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：JP专利5172162号公报

技术实现思路

[0008]本专利技术的一实施方式所涉及的检查装置是通过对被检查体中的对象物的尺寸进行检测来检查所述被检查体的检查装置，具备：多个图像传感器，拍摄所述被检查体；照明装置，向所述被检查体照射光；和图像处理装置，根据所述多个图像传感器的输出，生成所述对象物的图像。所述图像处理装置基于所述多个图像传感器的输出，生成共同地包含所述被检查体的规定范围的图像的多个取入图像，按所生成的多个取入图像的每个取入图像，提取所述被检查体中的对象物的图像，针对所提取的所述对象物的图像彼此，基于该图像中显现的所述对象物的特征量来建立关联，将建立关联的所述对象物的图像彼此合成。
[0009]本专利技术的一实施方式所涉及的检查方法是通过使用检查装置来对所述被检查体中的所述对象物的尺寸进行检测，从而检查所述被检查体的检查方法，所述检查装置具备：多个图像传感器，拍摄被检查体；照明装置，向所述被检查体照射光；和图像处理装置，根据所述多个图像传感器的输出，生成所述被检查体中的对象物的图像，所述检查方法包含：基于所述多个图像传感器的输出，生成共同地包含所述被检查体的规定范围的图像的多个取入图像的步骤；按所生成的多个取入图像的每个取入图像，提取所述被检查体中的对象物的图像的步骤；针对提取出的所述对象物的图像彼此，基于该图像中显现的所述对象物的特征量来建立关联的步骤；和将建立关联的所述对象物的图像彼此合成的步骤。
附图说明
[0010]图1是本实施方式所涉及的检查装置的侧视图。
[0011]图2是本实施方式所涉及的检查装置的俯视图。
[0012]图3是表示本实施方式所涉及的摄像装置中的图像传感器的配置的例子的俯视图。
[0013]图4是用于对本实施方式所涉及的图像处理装置中的图像生成方法的流程进行说明的流程图。
[0014]图5A是用于对本实施方式所涉及的图像处理装置中的图像生成方法进行说明的图。
[0015]图5B是用于对本实施方式所涉及的图像处理装置中的图像生成方法进行说明的图。
[0016]图6A是用于对本实施方式所涉及的图像处理装置中的图像生成方法进行说明的图。
[0017]图6B是用于对本实施方式所涉及的图像处理装置中的图像生成方法进行说明的图。
[0018]图7是用于对本实施方式所涉及的图像处理装置中的对象物的图像的提取方法以及对象物的图像的合成方法的流程进行说明的流程图。
[0019]图8是用于对本实施方式所涉及的图像处理装置中的对象物的图像的合成方法进行说明的图。
[0020]图9A是表示本实施方式所涉及的检查装置输出的对象物的合成图像的图。
[0021]图9B是表示现有的检查装置输出的对象物的合成图像的图。
[0022]图10是用于对本实施方式所涉及的检查装置中的传感器的种类和动态图像的种类与光学系统的关系进行说明的图。
[0023]‑
符号说明
‑
[0024]1 摄像装置
[0025]2 照明装置
[0026]101～116 图像传感器
[0027]3～5 辊
[0028]6 旋转编码器
[0029]7 图像处理装置
[0030]8 传送带
[0031]9～10 驱动装置
[0032]Pa～Pd 取入图像
[0033]E 对象物。
具体实施方式
[0034]在专利文献1中，为了准确地进行对象物的检测，将从图像传感器输出的多个图像合成，生成高精细的图像。在专利文献1中，基于图像传感器的配置，将多个图像的位置分别偏移(修正)后，进行图像的合成。
[0035]但是，例如，在照明装置照射的光的方向不恒定的情况下、被检查体是立体等情况下，有时光对被检查体的照射方式不是恒定的。在这种情况下，担心在从图像传感器输出的
多个图像中，对象物的位置较大偏离。因此，通过基于图像传感器的配置来分别修正多个图像的位置，可能无法修正对象物的位置的偏离，不能检测对象物。
[0036]特别地，被检查体被输送时，进行被检查体的检查的情况下，容易产生对象物的位置的偏离。
[0037]本专利技术的目的在于，在使用了多个图像传感器的检查装置以及检查方法中，提高被检查体中的对象物的检测再现性以及检测概率。
[0038]以下，基于附图来对本专利技术的实施方式详细进行说明。以下的优选的实施方式的说明本质上仅仅为示例，完全并不意图限制本专利技术、其应用物或者其用途。
[0039]图1表示本实施方式所涉及的检查装置的侧视图，图2表示本实施方式所涉及的检查装置的俯视图。如图1以及图2所示，本检查装置具备：摄像装置1、照明装置2、辊3～5、旋转编码器6、图像处理装置7。在辊3～5的外周，卷绕传送带8。
[0040]本检查装置进行构成为片状的片材S(被检查体)的检查。具体地，本检查装置对片材S中的对象物进行检测。这里，作为对象物，本检查装置对片材S中的缺陷、异物进行检测。该缺陷中例如不仅包含检查对象的片材S中的短路、断线等片材S的生产时的欠缺部分或不足部分，也包含片材S的损伤(例如，片材S与其他构件接触所导致的划痕)等。本检查装置在检测出的对象物大于规定的尺寸的情况下，判断为片材S中包含对象物。片材S在被载置于传送带8的状态下，在图1以及图2的实线所示的箭头的方向上被输送。
[0041]摄像装置1具备多个图像传感器，对由传送带8输送的片材S进行拍摄。这里，摄像装置1在辊4、5之间，构成为拍摄片材S的线传感器。摄像装置1将从图像传感器输出的像素信号发送给图像处理装置7。另外，在以下的说明中，将摄像装置1的扫描方向设为X方向，将摄像装置1的副扫描方向设为Y方向，将与X方向以及Y方向垂直的方向设为Z方向。
[0042]照明装置2具有例如包含LED、激光、卤素光源等的光源，在辊4、5之间，对摄像装置1的扫描区域(片材S)进行光的照射。具体地，照明装置2被设置为使得光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查装置，通过对被检查体中的对象物的尺寸进行检测，来检查所述被检查体，所述检查装置具备：多个图像传感器，拍摄所述被检查体；照明装置，向所述被检查体照射光；和图像处理装置，根据所述多个图像传感器的输出，生成所述对象物的图像，所述图像处理装置基于所述多个图像传感器的输出，生成共同地包含所述被检查体的规定范围的图像的多个取入图像，所述图像处理装置按生成的多个取入图像的每个取入图像，提取所述被检查体中的对象物的图像，所述图像处理装置针对提取出的所述对象物的图像彼此，基于该图像中显现的所述对象物的特征量来建立关联，所述图像处理装置将建立关联的所述对象物的图像彼此合成。2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述图像处理装置还输出与其他对象物的图像未建立关联的对象物的图像。3.根据权利要求1或者2所述的检查装置，其中，所述特征量包含该图像中显现的所述对象物的面积、纵横比、重心、外接于所述对象物的矩形的中心及重心、亮度等级、费雷特直径以及主轴的长度的任意一个。4.根据权利要求1～3的任意一项所述的检查装置，其中，所述多个图像传感器包含：第1图像传感器；和第2图像传感器，被配置为在所述第1图像传感器扫描被检查体的方向即扫描方向分离第1距离，并且，在与所述扫描方向垂直的方向即副扫描方向与所述第1图像传感器分离第2距离，其中，所述第1距离通过(x/nx)+m
×
x来表示，所述第2距离通过(y/ny)+p
×
y来表示，x表示所述扫描...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛伸也，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：