检查方法以及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检查方法以及检查装置。本检查装置具备：图像传感器(101～116)，拍摄片材(S)；照明装置(2)，向片材(S)照射光；和图像处理装置(7)，根据图像传感器(101～116)的输出，生成对象物(E)的图像。图像处理装置(7)基于图像传感器(101～116)的输出，生成共同地包含片材(S)的规定范围的图像的取入图像(Pa～Pd)。图像处理装置(7)按生成的每个取入图像(Pa～Pd)，提取片材(S)中的对象物(E)的图像。图像处理装置(7)针对提取的对象物E的图像彼此，基于该图像中显现的对象物(E)的特征量来建立关联。图像处理装置(7)将建立关联的对象物(E)的图像彼此合成。物(E)的图像彼此合成。物(E)的图像彼此合成。

【技术实现步骤摘要】
检查方法以及检查装置


[0001]本专利技术涉及使用了多个图像传感器的被检查体的检查装置以及检查方法，提高被检查体中的对象物的检测再现性以及检测概率。

技术介绍

[0002]在半导体、电子设备、二次电池等的设备领域，已知使用光电变换型的图像传感器，对被检查体中的对象物(异物、缺陷等)进行检测的缺陷检测装置。
[0003]近年来，在这些领域中，由于产品的高精度化、小型化导致被检查体中的异物、缺陷的尺寸变小。此外，要求生产的效率化、品质改善，伴随于此，需要制造工序的高速化、成品率提高等。为了制造工序的高速化、成品率提高，需要图像传感器的高分辨率化、高响应性。
[0004]但是，在高分辨率并且高响应性的图像传感器的制作中，需要大量的开发费、开发时间。因此，在专利文献1中，通过将多个图像传感器并排并同时处理，实现高速的检测器。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：JP专利5172162号公报

技术实现思路

[0008]本专利技术的一实施方式所涉及的检查装置是通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查装置，通过对被检查体中的对象物的尺寸进行检测，来检查所述被检查体，所述检查装置具备：多个图像传感器，拍摄所述被检查体；照明装置，向所述被检查体照射光；和图像处理装置，根据所述多个图像传感器的输出，生成所述对象物的图像，所述图像处理装置基于所述多个图像传感器的输出，生成共同地包含所述被检查体的规定范围的图像的多个取入图像，所述图像处理装置按生成的多个取入图像的每个取入图像，提取所述被检查体中的对象物的图像，所述图像处理装置针对提取出的所述对象物的图像彼此，基于该图像中显现的所述对象物的特征量来建立关联，所述图像处理装置将建立关联的所述对象物的图像彼此合成。2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述图像处理装置还输出与其他对象物的图像未建立关联的对象物的图像。3.根据权利要求1或者2所述的检查装置，其中，所述特征量包含该图像中显现的所述对象物的面积、纵横比、重心、外接于所述对象物的矩形的中心及重心、亮度等级、费雷特直径以及主轴的长度的任意一个。4.根据权利要求1～3的任意一项所述的检查装置，其中，所述多个图像传感器包含：第1图像传感器；和第2图像传感器，被配置为在所述第1图像传感器扫描被检查体的方向即扫描方向分离第1距离，并且，在与所述扫描方向垂直的方向即副扫描方向与所述第1图像传感器分离第2距离，其中，所述第1距离通过(x/nx)+m
×
x来表示，所述第2距离通过(y/ny)+p
×
y来表示，x表示所述扫描...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛伸也，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：