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氮化物半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:31476152
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一种氮化物半导体装置(1),包括:构成电子传输层的第1氮化物半导体层(13),在第1氮化物半导体层上形成的、构成电子供给层的第2氮化物半导体层(14),配置在第2氮化物半导体层上的、至少一部分具有脊部(15A)的、含有受主型杂质的半导体栅极...
该专利属于罗姆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗姆股份有限公司授权不得商用。
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