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微装置的选择性释放及转移制造方法及图纸
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文档序号:31475914
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本发明揭示一种将微装置从施体衬底选择性地转移到接收器衬底上的接触垫的方法。所述方法可包括:提供包括多个微装置的施体衬底,将所述多个微装置转移到中间衬底,接近于系统衬底将所述中间衬底上的一组选定微装置对准,在所述一组选定微装置与系统接收器之间...
该专利属于维耶尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过维耶尔公司授权不得商用。
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