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制造用于流体装置的体声波谐振器结构的方法可以包括将第一导电材料设置在基板的第一表面的一部分上以形成第一电极的至少一部分的第一步骤；然后，可以将压电材料设置在第一电极之上；接下来，可以将第二导电材料设置在压电材料上方以形成第二电极的至少一部分...
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