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高指数基板上形成的长波红外光电检测器结构制造技术
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文档序号:31475415
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用于检测入射光的层状结构包括具有高密勒指数晶体取向的表面的基板和在该基板的该表面上方形成的超晶格结构。与在基板的具有(100)晶体取向的表面上方形成的超晶格结构相比,超晶格结构与高密勒指数晶体取向对齐,并且基于晶体取向表现出红移长波红外响应...
该专利属于IQE公开有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过IQE公开有限公司授权不得商用。
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