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本实用新型涉及一种晶圆存储充气的自膨胀密封圈，包括密封圈本体，密封圈本体外壁上由下至上的开设有环形凹槽以及凸出密封圈本体的外壁设置的环形凸块，密封圈本体中贯穿有充气通道，密封圈本体的顶面开设有自膨胀槽，自膨胀槽的底部和充气通道相连通，自膨胀...
该专利属于昆山芯物联电子通讯有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山芯物联电子通讯有限公司授权不得商用。

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