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本实用新型公开了一种改善传送手臂与载盘之间温差的传送手臂结构，包括陶瓷手臂主体，陶瓷手臂主体设有载盘承托区和散热区，所述陶瓷手臂主体上设有导热条，所述导热条自陶瓷手臂主体上的载盘承托区表面延伸至散热区表面。本实用新型与现有技术相比的优点是：...
该专利属于上海稷以科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海稷以科技有限公司授权不得商用。

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