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本申请提供一种悬浮式压电超音波感测器，包含半导体基板及压电超音波感测元件；半导体基板包含柱状设置区、周缘壁、及至少一个桥接部，柱状设置区与周缘壁之间为空腔，空腔围绕柱状设置区，桥接部连接柱状设置区及周缘壁；压电超音波感测元件设置于柱状设置区...
该专利属于茂丞科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过茂丞科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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