悬浮式压电超音波感测器制造技术

本申请提供一种悬浮式压电超音波感测器，包含半导体基板及压电超音波感测元件；半导体基板包含柱状设置区、周缘壁、及至少一个桥接部，柱状设置区与周缘壁之间为空腔，空腔围绕柱状设置区，桥接部连接柱状设置区及周缘壁；压电超音波感测元件设置于柱状设置区上。通过在半导体基板上设置空腔及桥接部，可通过此方式来调整所需的频率，进而调整所需声压及发射角度，提供较大的制程裕度。提供较大的制程裕度。提供较大的制程裕度。

【技术实现步骤摘要】
悬浮式压电超音波感测器


[0001]本申请涉及感测
，尤其涉及一种悬浮式压电超音波感测器。

技术介绍

[0002]在现有技术上，超音波感测器的真空腔体是封闭于超音波感测器的内部，当超音波感测器制作完成后，腔体体积固定，也伴随着固定了对应的发射波的谐振频率。然而，有时超音波感测器的谐振频率，无法达到所需要的发射角、声压，则需要重新设计。除了所费成本不赀外，现今例如应用于超音波感测器所需的尺寸较小，腔体空间也需缩减，整体设计更受到制程裕度的限制。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术所面临的问题，在此提供一种悬浮式压电超音波感测器。悬浮式压电超音波感测器包含半导体基板及压电超音波感测元件；半导体基板包含柱状设置区、周缘壁、及至少一个桥接部，柱状设置区与周缘壁之间为空腔，空腔围绕柱状设置区，桥接部连接柱状设置区及周缘壁；压电超音波感测元件设置于柱状设置区上。
[0004]在一些实施例中，半导体基板更包含至少一个贯孔，贯孔贯穿半导体基板，且与空腔连通。
[0005]更详细地，在一些实施例中，贯孔邻近于柱状设置区。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，包含：半导体基板，包含柱状设置区、周缘壁、以及至少一个桥接部，所述柱状设置区与所述周缘壁之间为空腔，所述空腔围绕所述柱状设置区，所述桥接部连接所述柱状设置区及所述周缘壁；以及压电超音波感测元件，设置于所述柱状设置区上。2.如权利要求1所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述半导体基板还包含至少一个贯孔，所述贯孔贯穿所述半导体基板，且与所述空腔连通。3.如权利要求2所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述贯孔邻近于所述柱状设置区。4.如权利要求2所述的悬浮式压电超音波感测器，其特征在于，所述半导体基板包含多个贯孔，多个所述贯孔贯穿所述半导体基板、分布...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱奕翔，
申请(专利权)人：茂丞科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：