下载一种3D结构陶瓷基板的技术资料

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本实用新型涉及半导体技术领域。一种3D结构陶瓷基板,包括一瓷片,还包括固定在瓷片上方的3D结构的上金属层;上金属层包括不同厚度的第一金属层、第二金属层以及第三金属层,第一金属层、第二金属层以及第三金属层厚度递减;第三金属层位于瓷片中央区域,...
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