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本实用新型公开了一种蓝宝石单晶衬底内弧研磨装置,支腿上端后方设有后连板,支腿上端左右两侧设有侧连板,侧连板之间设有定轴,定轴左右分别设有左摆动板和右摆动板,右摆动板中部右侧设有研磨电机,研磨电机左端连接有主动轴,主动轴通过侧皮带带动橡胶球转...该专利属于日昌晶新材料(山西)有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过日昌晶新材料(山西)有限责任公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种蓝宝石单晶衬底内弧研磨装置,支腿上端后方设有后连板,支腿上端左右两侧设有侧连板,侧连板之间设有定轴,定轴左右分别设有左摆动板和右摆动板,右摆动板中部右侧设有研磨电机,研磨电机左端连接有主动轴,主动轴通过侧皮带带动橡胶球转...