一种蓝宝石单晶衬底内弧研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蓝宝石单晶衬底内弧研磨装置，支腿上端后方设有后连板，支腿上端左右两侧设有侧连板，侧连板之间设有定轴，定轴左右分别设有左摆动板和右摆动板，右摆动板中部右侧设有研磨电机，研磨电机左端连接有主动轴，主动轴通过侧皮带带动橡胶球转动，橡胶球下端设有研磨球，研磨球通过轴安装在左摆动板和右摆动板之间。左摆动板和右摆动板上端设有推杆，推杆后端铰接有第二连杆，第二连杆后端铰接有第一连杆，第一连杆，第一连杆上端设有气动杆，气动杆后端设有气动缸，气动缸后端固定在后连板上。研磨球下方设有旋转底座。本实用新型专利技术的有益效果是：对于特殊的弧面衬底内弧面，可满足高效高精度的要求。可满足高效高精度的要求。可满足高效高精度的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石单晶衬底内弧研磨装置


[0001]本技术涉及宝石加工领域，具体涉及一种蓝宝石单晶衬底内弧研磨装置。

技术介绍

[0002]蓝宝石(Sapphire)，是刚玉宝石中除红宝石(Ruby)之外，其它颜色刚玉宝石的通称，主要成分是氧化铝(Al2O3)。蓝色的蓝宝石，是由于其中混有少量钛(Ti)和铁(Fe)杂质所致。蓝宝石的颜色，可以有粉红、黄、绿、白、甚至在同一颗石有多种颜色，蓝宝石的成分为氧化铝，因含微量元素钛(Ti4+)或铁(Fe2+)而呈蓝色。属三方晶系，晶体形态常呈筒状、短柱状、板状等，几何体多为粒状或致密块状。透明至半透明，玻璃光泽。折光率1.76
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1.77，双折射率0.008，二色性强。非均质体。有时具有特殊的光学效应
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星光效应。硬度为9，密度3.95
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4.1克/立方厘米。无解理，裂理发育。
[0003]用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求。蓝宝石晶片研磨是蓝宝石晶片制造中非常重要的一项工艺流程，它决定了蓝宝石研磨后的TTV和WARP，以及表面粗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石单晶衬底内弧研磨装置，包括四个支腿(11)，所述支腿(11)上端后方设有后连板(12)，所述支腿(11)上端左右两侧设有侧连板(13)，其特征在于，所述侧连板(13)之间设有定轴(23)，所述定轴(23)左右分别设有左摆动板(21)和右摆动板(22)，所述右摆动板(22)中部右侧设有研磨电机(51)，所述研磨电机(51)左端连接有主动轴(52)，所述主动轴(52)通过侧皮带(53)带动橡胶球(54)转动，所述橡胶球(54)通过轴安装在所述左摆动板(21)和所述右摆动板(22)之间，所述橡胶球(54)下端设有研磨球(55)，所述研磨球(55)通过轴安装在所述左摆动板(21)和所述右摆动板(22)之间；所述左摆动板(21)和所述右摆动板(22)上端设有推杆(35)，所述推杆(35)后端铰接有第二连杆(34)，所述第二连杆(34)后端铰接有第一连杆(33)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，郝贵荣，王华锋，
申请(专利权)人：日昌晶新材料山西有限责任公司，
类型：新型
国别省市：