下载一种压力传感器的技术资料

文档序号:31460447

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种压力传感器,包括玻璃底座和位于玻璃底座上的硅应变膜片,玻璃底座的一面设有凹陷空腔,硅应变膜片包括位于正面的绝缘介质层和绝缘介质层覆盖的硅衬底;硅应变膜片的正面朝向空腔处设有十字梁结构的梁膜结构,梁膜结构的各个端部设有一组...
该专利属于深圳市美思先端电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市美思先端电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。