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本实用新型公开了一种基于颗粒硅的单晶棒制备装置,包括炉室和位于炉室内部的:盛料容器,内部放置有颗粒硅,底部开口设置有控制挡板;导料滑道,上端位于底部开口正下方;熔区,位于导料滑道下端的正下方;加热线圈,位于熔区外围;单晶棒拉制模组,位于熔区...该专利属于青海亚洲硅业半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青海亚洲硅业半导体有限公司授权不得商用。
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