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本实用新型公开了一种紫外宽光谱光刻镜头及具有其的光刻机，光刻镜头包括第一透镜组、第二透镜组、光阑和第三透镜组，从物面侧至像面侧方向上，第一透镜组、所述第二透镜组、光阑和第三透镜组沿光的轴线方向依次排布，第一透镜组包括保护玻璃和平板玻璃；第二...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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