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一种硅棒承载装置以及硅棒切割设备制造方法及图纸
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下载一种硅棒承载装置以及硅棒切割设备的技术资料
文档序号:31451093
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本实用新型公开一种硅棒承载装置以及硅棒切割设备,涉及硅棒生产设备技术领域,以方便单独拆卸多个晶座中间的晶座,缩短维修时间,减少劳动强度,提高产能。所述硅棒承载装置包括安装基座和位于安装基座上的硅棒承载结构。硅棒承载结构包括硅棒支撑机构以及位...
该专利属于银川隆基硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过银川隆基硅材料有限公司授权不得商用。
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