下载一种基于4508型倒角机的硅片传递装置的技术资料

文档序号:31451021

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本实用新型公开了一种基于4508型倒角机的硅片传递装置,包括基台,所述基台台面一侧长边中部固接上料槽,所述上料槽内腔堆叠若干硅片,所述硅片侧面活动接触顶升机,所述硅片顶面活动接触气缸吸盘底面,所述气缸吸盘包括吸盘,所述吸盘底面活动吸附硅片,...
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