下载半导体结构及其制备方法的技术资料

文档序号:31449835

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本申请提供了一种半导体结构及其制备方法,该半导体结构的制备方法包括:在衬底上制备缓冲层;在所述缓冲层上制备掩膜层;图形化所述掩膜层使部分暴露所述缓冲层;在所述缓冲层被所述掩膜层暴露的部分制备第一DBR结构;在所述第一DBR结构上制备发光结构...
该专利属于苏州晶湛半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶湛半导体有限公司授权不得商用。

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