下载硅料装料方法的技术资料

文档序号:31448960

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本发明公开了一种硅料装料方法,所述硅料装料方法包括以下步骤:在坩埚内设置沿上下方向延伸的至少一个安装件;在装有所述安装件后的所述坩埚内装入硅料;抽出所述安装件,使所述安装件的安装区域限定出第一气流通道。根据本发明的硅料装料方法,第一气流通道...
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