温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种送料装置，属于芯片加工技术领域。本实用新型的送料装置包括移动载体，所述移动载体上设置有物料承载部件，所述移动载体与所述物料承载部件之间设置有推动机构，所述推动机构包括驱动部件、丝杆以及第一滑动部件，所述驱动部件与所述丝杆...
该专利属于徐州芯思杰半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州芯思杰半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。