温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种贴合装置，应用于光罩组件，所述光罩组件包括光罩以及贴合于所述光罩的保护膜和/或金属片，所述贴合装置包括基板以及承载组件，所述基板具有第一表面，所述第一表面设有第一收容槽以及与所述第一收容槽间隔设置的第...
该专利属于广州仕元光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州仕元光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。