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本实用新型公开了一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，涉及集成电路晶圆烘干技术领域，包括浸泡槽和盖板，盖板的一端与浸泡槽上端面边缘位置铰接，浸泡槽的外壁通过导管连接有进料泵和出料泵，浸泡槽的内部设置有控制机构，控制机构包括滑槽，滑槽位于浸...
该专利属于上海华友金裕微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华友金裕微电子有限公司授权不得商用。

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