一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，涉及集成电路晶圆烘干技术领域，包括浸泡槽和盖板，盖板的一端与浸泡槽上端面边缘位置铰接，浸泡槽的外壁通过导管连接有进料泵和出料泵，浸泡槽的内部设置有控制机构，控制机构包括滑槽，滑槽位于浸泡槽的侧壁，滑槽的内腔底面固定安装有测距块，滑槽的内壁滑动安装有滑块。本实用新型专利技术通过在浸泡槽侧壁设置进料泵，通过进料泵向浸泡槽内腔注入异丙醇，将清洗后的晶圆放置于装有异丙醇的浸泡槽内，晶圆上的清洗水会混合到异丙醇中，然后将晶圆取出并烘干，利用异丙醇快速挥发和沸点很低的特性，可以实现晶圆清洗后的快速烘干，同时有效的降低晶圆烘干的碎片率，简单实用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备


[0001]本技术涉及集成电路晶圆烘干
，具体为一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备。

技术介绍

[0002]传统的烘干方式采用甩干方式，将装有晶圆的提篮放入到甩干桶内，利用涡轮带动晶圆在设备内旋转，通过离心力的原理，将晶圆表面的清洗水甩干，此方式的烘干，晶圆高速旋转的过程中会收到很大的离心力，晶圆的碎片率很高，同时需要的时间比较长，在随着晶圆的厚度越来越减薄，此种烘干方式不能满足晶圆清洗后烘干的要求，现急需一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备以解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，包括浸泡槽和盖板，盖板的一端与浸泡槽上端面边缘位置铰接，浸泡槽用于放置异丙醇，并将清洗后的晶圆放置于浸泡槽内，浸泡槽的外壁通过导管连接有进料泵和出料泵，浸泡槽的内部设置有控制机构。
[0005]控制机构包括滑槽，滑槽位于浸泡槽的侧壁，滑槽的内腔底面固定安装有测距块，滑槽的内壁滑动安装有滑块，滑槽为滑块提供滑动空间。
[0006]优选的，控制机构还包括与浸泡槽内壁转动连接的转轴，转轴的轴向一端固定安装有棘轮，转轴的进项外壁转动安装有传动杆，传动杆的另一端延伸至滑槽的内腔并与滑块的上端面转动，转轴通过传动杆可以带动滑块滑动。
[0007]优选的，浸泡槽侧壁内部固定安装有与棘轮配合的棘爪，棘爪用于单向限定棘轮，棘轮的内腔壁均匀开设有传动槽，浸泡槽的内壁通过扭簧转动安装有第一拨杆，第一拨杆的一端通过扭簧铰接有用于与传动槽配合的第二拨杆，第二拨杆可以带动棘轮转动。
[0008]优选的，转轴的径向外壁通过扭簧与浸泡槽的内壁转动连接，以便于棘轮余转轴复位。
[0009]优选的，盖板的底面滑动安装有传动轴，传动轴的尖端延伸至浸泡槽的侧壁并与第一拨杆的上端面贴合，通过传动轴可以带动第一拨杆转动。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]本技术为一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，通过在浸泡槽侧壁设置进料泵，通过进料泵向浸泡槽内腔注入异丙醇，将清洗后的晶圆放置于装有异丙醇的浸泡槽内，晶圆上的清洗水会混合到异丙醇中，然后将晶圆取出并烘干，利用异丙醇快速挥发和沸点很低的特性，可以实现晶圆清洗后的快速烘干，同时有效的降低晶圆烘干的碎片率，简单实用。
附图说明
[0012]图1为本技术实施例的结构示意图；
[0013]图2为本技术实施例的剖视图；
[0014]图3为本技术实施例中盖板的局部结构示意图；
[0015]图4为本技术实施例中棘轮的结构示意图；
[0016]图5为本技术实施例中第一拨杆的结构示意图。
[0017]图中：1、浸泡槽；2、盖板；3、进料泵；4、出料泵；5、控制机构；51、传动轴；52、棘爪；53、棘轮；54、传动槽；55、传动杆；56、滑块；57、滑槽；58、测距块；59、第一拨杆；510、第二拨杆；511、转轴。
具体实施方式
[0018]为了便于使用，本技术实施例提供了一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]实施例1
[0020]请参阅图1，本实施例提供了一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，包括浸泡槽1和盖板2，盖板2的一端与浸泡槽1上端面边缘位置铰接，其中，浸泡槽1用于盛装异丙醇试剂，通过盖板2转动可以将浸泡槽1盖合，用于减少异丙醇的挥发，同时可以对施工人员起到保护作用，防止施工人员过量吸入异丙醇中毒。
[0021]浸泡槽1的外壁通过导管连接有进料泵3和出料泵4，浸泡槽1的内部设置有控制机构5，进料泵3的一端通过导管与外接异丙醇储存腔室连接，对进料泵3通电可以对浸泡槽1内腔注入异丙醇试剂。
[0022]在需要将清洗后的晶圆烘干时，首先将盖板2旋转打开，同时将清洗后的晶圆浸泡到装有异丙醇浸泡槽1中，晶圆上的清洗水会混合到异丙醇中，晶圆的表面就会被一层异丙醇覆盖。
[0023]在晶圆表面被异丙醇完全覆盖后，将提篮从浸泡槽1中提出，放置到烘干设备中，烘干设备为常见的可以调节烘干温度的烘干箱，将烘干箱温度调节至90℃，其中，异丙醇的沸点是82.45℃且具有快速的挥发性，异丙醇在烘干箱中会快速的烘干，以提高晶圆的烘干效率。
[0024]另外，采样异丙醇能够快速挥发的方式进行干燥处理，晶圆不会受到外力的作用，可以有效的降低晶圆烘干的碎片率，简单实用。
[0025]实施例2
[0026]请参阅图1
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5，在实施例1的基础上做了进一步改进：
[0027]控制机构5包括滑槽57，滑槽57位于浸泡槽1的侧壁，滑槽57的内腔底面固定安装有测距块58，滑槽57的内壁滑动安装有滑块56，其中滑槽57为滑块56通过滑动空间，滑块56可以沿滑槽57内壁直线滑动。
[0028]另外，测距块58内腔安装有用于检测滑块56与测距块58之间距离的距离传感器，
滑槽57的侧壁设置有用于接收处理逻辑控制器，逻辑控制器为常见的单片机，在滑块56滑动至于测距块58接触时，此时距离传感器将信号传递至逻辑控制器，此时逻辑控制器通过分析信号将电源与出料泵4连通，即出料泵4工作，将浸泡槽1内腔的异丙醇试剂排出。
[0029]控制机构5还包括与浸泡槽1内壁转动连接的转轴511，转轴511的轴向一端固定安装有棘轮53，其中转轴511与棘轮53轴线重合，通过转轴511与棘轮53固定连接，使得转轴511与棘轮53可以同步沿轴线转动。
[0030]转轴511的进项外壁转动安装有传动杆55，传动杆55的另一端延伸至滑槽57的内腔并与滑块56的上端面转动，通过转轴511沿自身轴线转动，可以带动滑块56沿滑槽57的内腔滑动。
[0031]为了在转动转轴511与棘轮53便于转轴511与棘轮53复位，转轴511的径向外壁通过扭簧与浸泡槽1的内壁转动连接，通过扭簧释放弹性势能可以在转动转轴511与棘轮53转动后带动转轴511与棘轮53复位。
[0032]浸泡槽1侧壁内部固定安装有与棘轮53配合的棘爪52，通过棘爪52与棘轮53的外壁卡合，可以对棘轮53余转轴511的转动进行单向限定。
[0033]棘轮53的内腔壁均匀开设有传动槽54，浸泡槽1的内壁通过扭簧转动安装有第一拨杆59，第一拨杆59的一端通过扭簧铰接有用于与传动槽54配合的第二拨杆510，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，包括浸泡槽(1)和盖板(2)，其特征在于：所述盖板(2)的一端与浸泡槽(1)上端面边缘位置铰接，所述浸泡槽(1)的外壁通过导管连接有进料泵(3)和出料泵(4)，所述浸泡槽(1)的内部设置有控制机构(5)；所述控制机构(5)包括滑槽(57)，所述滑槽(57)位于浸泡槽(1)的侧壁，所述滑槽(57)的内腔底面固定安装有测距块(58)，所述滑槽(57)的内壁滑动安装有滑块(56)。2.根据权利要求1所述的一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，其特征在于：所述控制机构(5)还包括与浸泡槽(1)内壁转动连接的转轴(511)，所述转轴(511)的轴向一端固定安装有棘轮(53)，所述转轴(511)的进项外壁转动安装有传动杆(55)，所述传动杆(55)的另一端延伸至滑槽(57)的内腔并...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭伟，肖广源，罗红军，
申请(专利权)人：上海华友金裕微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：