一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，涉及集成电路晶圆烘干技术领域，包括浸泡槽和盖板，盖板的一端与浸泡槽上端面边缘位置铰接，浸泡槽的外壁通过导管连接有进料泵和出料泵，浸泡槽的内部设置有控制机构，控制机构包括滑槽，滑槽位于浸泡槽的侧壁，滑槽的内腔底面固定安装有测距块，滑槽的内壁滑动安装有滑块。本实用新型专利技术通过在浸泡槽侧壁设置进料泵，通过进料泵向浸泡槽内腔注入异丙醇，将清洗后的晶圆放置于装有异丙醇的浸泡槽内，晶圆上的清洗水会混合到异丙醇中，然后将晶圆取出并烘干，利用异丙醇快速挥发和沸点很低的特性，可以实现晶圆清洗后的快速烘干，同时有效的降低晶圆烘干的碎片率，简单实用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备


[0001]本技术涉及集成电路晶圆烘干
，具体为一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备。

技术介绍

[0002]传统的烘干方式采用甩干方式，将装有晶圆的提篮放入到甩干桶内，利用涡轮带动晶圆在设备内旋转，通过离心力的原理，将晶圆表面的清洗水甩干，此方式的烘干，晶圆高速旋转的过程中会收到很大的离心力，晶圆的碎片率很高，同时需要的时间比较长，在随着晶圆的厚度越来越减薄，此种烘干方式不能满足晶圆清洗后烘干的要求，现急需一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备以解决上述问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，包括浸泡槽和盖板，盖板的一端与浸泡槽上端面边缘位置铰接，浸泡槽用于放置异丙醇，并将清洗后的晶圆放置于浸泡槽内，浸泡槽的外壁通过导管连接有进料泵和出料泵，浸泡槽的内部设置有控制机构。/>[0005]控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，包括浸泡槽(1)和盖板(2)，其特征在于：所述盖板(2)的一端与浸泡槽(1)上端面边缘位置铰接，所述浸泡槽(1)的外壁通过导管连接有进料泵(3)和出料泵(4)，所述浸泡槽(1)的内部设置有控制机构(5)；所述控制机构(5)包括滑槽(57)，所述滑槽(57)位于浸泡槽(1)的侧壁，所述滑槽(57)的内腔底面固定安装有测距块(58)，所述滑槽(57)的内壁滑动安装有滑块(56)。2.根据权利要求1所述的一种集成晶圆带有高效烘干装置的清洗设备，其特征在于：所述控制机构(5)还包括与浸泡槽(1)内壁转动连接的转轴(511)，所述转轴(511)的轴向一端固定安装有棘轮(53)，所述转轴(511)的进项外壁转动安装有传动杆(55)，所述传动杆(55)的另一端延伸至滑槽(57)的内腔并...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭伟，肖广源，罗红军，
申请(专利权)人：上海华友金裕微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：