下载一种终端结构及半导体器件的技术资料

文档序号:31415448

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本申请公开了一种终端结构及半导体器件,终端结构包括第一导电类型的漂移区,漂移区设置有沟槽、第一导电类型的掺杂区和第二导电类型的第一体区,沟槽包括第一深度区、第二深度区和第三深度区;第一深度区填充介电材料,介电材料中插入第一电极,第二深度区设...
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