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本实用新型涉及半导体晶圆抛光技术领域，具体为一种有效阻止废屑堵塞的半导体晶圆抛光装置，包括工作台，工作台的顶壁中间位置设置有抛光机构，工作台靠近左端位置处设置有放置机构，放置机构包括第一放置板和第二放置板，第一放置板、第二放置板的结构一致，...
该专利属于深圳市盈富仕科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市盈富仕科技有限公司授权不得商用。

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