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本实用新型提供一种分子束外延生产设备中的衬底托板结构，涉及半导体制造技术领域。该衬底托板结构包括本体，本体上一体地形成有同心的第一环形台阶和第二环形台阶，沿第一环形台阶的内侧壁的圆周方向设置有多个突出部，该多个突出部共同用于支撑衬底片，该多...
该专利属于新磊半导体科技（苏州）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新磊半导体科技（苏州）股份有限公司授权不得商用。

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